본 장비는 조도, 위치도, 그루프폭, 거리, Runout을 동시에 측정하는 장비로 피측정물의 조도를 측정 후 형상 등을 순차적으로 측정하는 자동측정장비이다.

•측정항목 : 조도, Runout, 위치도, 거리, 폭
•분해능(Resolution): 0.1㎛
•반복도 및 반복재현성(R&R) : 10%이내
•정밀도(Measuring Accuracy) : ≤1.5㎛
•반복정밀도(Repeatability) : ≤1㎛